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第274章 分子级别超纯水（第2页）

隔日，心里有事的梁远也顾不上去安抚失火三人组，把事情向王蒙蒙三人解释的工作交给两个丫头，梁远早起之后直接去了港基集电，依旧是把王欣、刘飞扬、聂晓天三人逮到小会议室开会。

“大少，今天这是又从哪里捡到人了么？”

刘飞扬发现开会的阵容和昨天一样，说了一个温度比较低的笑话。

哪有天天捡光刻机的，梁远两世为人也就遇到这么一遭，梁远没好气的看了刘飞扬。

“聂晓天，去把门锁上，屋内开的那种。”

梁远这句话一出口，技术大佬三人组都知道事情严肃了。

“我来吧～”

刘飞扬收起轻松的心态，快步把小会议室的门锁成手动开启的那种。

“昨天，听大家讨论193光源壁垒时，脑袋里就闪了个念头过去～”

梁远也没铺垫直入主题。

“不过这个灵感就是闪了一下，然后就被我忘了～”

梁远做了个无奈的表情。

技术大佬三人组虽然都没说话，不过神色都是十分统一的“特喵逗我”。

“晚上和两个丫头去食堂吃饭，心里就一直琢磨着这事儿，那种有件事情忘记了却马上就能想起来的那种感觉你们都经历过吧，我昨晚就是那种～”

“菲菲看我想得挺痛苦的，就开了几瓶葡萄汽水～”

虽然梁远一本正经的编着心灵鸡汤，可葡萄汽水这个名词一出口，小会议室还是响起了低低的笑声，宁婉菲的葡萄口味汽水在远嘉已经成了很著名的“梗”。

“哈哈哈，别笑～，开会呢～。”

梁远自己也笑场了。

“葡萄汽水还是有用的，人一进入到微醺状态，看东西的视界难免会扭曲变化有些失真～”

梁远巴拉巴拉的把自己看磁悬浮胶囊列车的光斑投影，在湖面宽窄变化进而联想到液体折射和光刻机镜头的事情联系了起来。

牛顿之前，无数人被东西砸了脑袋也没发现万有引力，梁土豪之前，无数的酒鬼醉眼迷离也没想到光刻机的线宽，梁远自己觉得这锅鸡汤炖得还是蛮有格调的。

“你们说，如果把晶圆丢在水里光刻是不是有助于增大NA值～。”

梁远假模假样的问了一句。

除了特别极端条件，物理定律肯定是不会变的，晶圆丢水里当然会变相增大镜头的NA值。

“卧艹！”

技术大佬三人组都被惊吓了，刘飞扬和聂晓天甚至连不符合社会期待都语气助词都没憋住。

王欣彻底的一副世界变化这么大，好像忽然见了鬼的模样。

小会议室里一片寂静，也不知过了多久，王欣喃喃的说道：“大少，我是彻底相信你是被赚钱耽搁了的科学天才了。”

刘飞扬小小的“呃”了一声，把差点脱口而出的大少是真有吉祥物属性的话硬生生的咽了回去。

昨晚刘飞扬和聂晓天应酬完方伟林一行人，两人结伴回家时还笑言港基集电有吉祥物属性的大少，193纳米光源壁垒肯定得我们追上来才能突破，哪成想只是回家睡了一觉，第二天梁远就直接爆种了。

镜头上加水这玩意一旦捅破了后边差不多是一马平川，对于技术大佬三人组随便拿张纸就能算出来这东西的前景。

水的折射率是1.44，港基集电目前营运的晶圆生产线线宽是5微米，如果像梁远所言的直接在水里光刻都不用变动光刻机的镜头组数和更换新光源，直接就能把线宽变成3.5微米。

“大少这个想法简直天才～”

“十年之前，干式蚀刻和湿式蚀刻就有过路线之争，结果干式蚀刻把湿式蚀刻给淘汰了，没想到换了个思路湿式居然又复活了。”

“老聂，你这话可不准，形象点说干式蚀刻和湿式蚀刻是冲洗，和大少这个完全是两码事。”

光刻机、蚀刻机都是晶圆生产线的核心设备，由于晶圆生产的技术原理起源于相机，因此可以近似的把光刻机看成拍摄，蚀刻机看成冲洗，加工完成的晶圆就是相片。

七十年代中期，主流蚀刻机对经过光刻机曝光之后晶圆都是采用液体化学溶剂冲洗光刻胶，因此也叫湿式蚀刻，七十年代末八十年代初，东洋尼康采用气体冲洗的干式蚀刻机研制成熟，只用了几年的时间就淘汰了操作复杂腐蚀污染严重的湿式蚀刻。

可惜，整整二十多年，整个东洋也没人想到把湿式工艺挪移到上一个生产环节。

一般来说，浸入式光刻机有三种技术路线：

第一种是喷淋法，顾名思义就是把水喷到晶圆上然后再迅速带走，常见的喷淋法工艺是在镜头的一侧设置一个超精密喷嘴，随着镜头加工运动把水喷到镜头下方，然后从镜头的另一侧把水吸走。

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