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映入高振东眼帘的,是一个略显圆柱形的金属物体,大部分光学系统都被包裹在内,侧面靠中间位置开了一个口,这个口子是用来放掩膜的。
高振东和负责机械的同志仔细端详着这个机器,光学所的同志向他们介绍:“这个机器工作波长355nm,光学调制传递函数在理想位置大概是0.63左右,光程差小于四分之一波长,数值孔径0.029,放大倍率1。”
这些高振东就是真的不懂了,除了355nm的工作波长和放大倍率1之外,其他的他都不清楚:“李工,这意味着什么?”
李工不以为意,这位毕竟不是搞光学的:“这意味着他的分辨率为9μm。”
9μm?高振东一下子就炸了,这个分辨率,搭配较小的形变,10μm线宽不是梦啊。
“李工,那图像的形变情况怎么样?”
“很小,最大场曲在15μm范围内,最大像散在7μm左右,总体畸变小于1ppm,像面不均匀性小于2%,我想对于你们的要求是完全没有问题的。”李工笑道,对此他也颇为自得。
这个机器,高振东要求的投影直径是160mm左右,1ppm的畸变,意味着不到1μm,这对高振东的想法来说是完全足够了。
高振东哈哈大笑:“李工,太谢谢你们了!辛苦辛苦!”
李工笑道:“能满足你们的要求就好,今天时间也比较晚了,具体的其他事务,我们明天继续怎么样?”
高振东在兴奋中连连点头:“好,今天就不麻烦同志们了,我们明天再继续。”
当天晚上,高振东辗转反侧,想了半个晚上。
第二天一早,高振东带着人,早早的就来到试验室门口,李工已经等在那里了,一行人换好衣服进去。
高振东进去之后,李工开始张罗着叫人用标准掩膜,进行一遍完整的测试,毕竟他昨天说归说,但是完整的测试流程是要走一遍给高振东他们看的,这算是甲方来验收了。
试验一边进行,高振东一边拿着整套光学系统的指标在看,他想看看能不能达到自己的想法。
看着看着,他皱了一下眉头。
“李工,这套系统的透光率,是30%多?”高振东问道。
他没好说“只有30%多”这个话,有点儿不太好。
李工脸上露出了一点儿不好意思的神色:“嗯,355nm这个波长已经进入紫外波长了,透光率天生就比较差,加上材料的原因,就比较难看了。”
紫外线波长是10nm到400nm,能量高,但是穿透性差,这个有点像辐射中的阿尔法射线,能量最高,但是一般常见的阿尔法射线一张打印纸都能挡得住。
这个透光率,还是因为355nm波长比较长,穿透性还没恶化到底的原因。
这让高振东感到有些难办了,这样一来,如果第二步需要微缩投影,加上微缩那一套光学系统,透光率会进一步恶化,虽然那一步是要聚焦的,但是哪怕是现在,这个透光率都已经到了危险的边缘了,激光功率做大,不是大力出奇迹那么简单的,能保留越高的透光性越好。
高振东现在也不好说,毕竟勉强够用,只是问了一句:“现在的材料透光率多少?”
“400nm波长10mm透光率不小于99%,300nm波长10mm透光率不小于30%,这已经是增加了增透膜之后的效果了。”
嚯,这可下降得够快的,难怪数据这么难看,355nm比300nm肯定是要好得多,但是架不住一套光学系统里面有多个透镜。
高振东点点头,一边看着试验,一边说出了自己的想法。
“李工,这个系统的分辨率,在第二步的时候能不能做到5μm乃至更好一点?”
他想搏一搏。
李工听了他的话,摇了摇头。
“很难,现在这个,已经是我们的极限了,别的不说,加工成本就极为高昂,再提高到你说的那个程度,我们现在这种人工加工再优选的方法就已经不一定实用,加工成本将极为高昂,完全没法量产。”
高振东没有被吓住:“如果不计成本,只要一套或者几套呢?”
李工眼睛一亮,然后又暗淡下来:“那加工倒是有可能,但是再提高的话,我们的材料撑不住,依然没有意义。”
“材料?什么材料?”高振东打破砂锅问到底。
“光学玻璃,我们现在用的是冕牌光学玻璃,其参数如透光性、热膨胀系数等不是太好,要么影响光学调制传递函数这些关键指标,要么影响其环境适应性,微小的温度波动都可能造成性能的劣化,就现在这个,都是有严格的工作温度范围要求的。”
又回到老问题上了,材料。
冕牌光学玻璃,不是一个品牌,而是光学玻璃的种类。
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